真空矩形傳輸閥Rectangular Transfer Valve是一種用于高真空環(huán)境的精密閥門(mén)設(shè)備，主要用于在真空系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)物料或樣品的傳遞。該閥門(mén)具有高頻率啟閉、低漏率和高耐壓等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、科研等領(lǐng)域，是真空傳輸系統(tǒng)中的關(guān)鍵組件。

矩形閥根據(jù)其運(yùn)動(dòng)軌跡的不同，主要可以分為直線運(yùn)動(dòng)型（I和L型）和旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)型（J型）兩大類(lèi)。每種運(yùn)動(dòng)軌跡都有其dute的優(yōu)勢(shì)，用戶(hù)可以根據(jù)具體的應(yīng)用需求和系統(tǒng)配置來(lái)選擇合適的類(lèi)型。

1.I-motion矩形傳輸閥

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上升 ↑ │    │ ↑ ▲閥板垂直運(yùn)動(dòng)

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運(yùn)動(dòng)特征：閥板嚴(yán)格沿垂直方向上下移動(dòng)（部分閥門(mén)設(shè)計(jì)時(shí)有一定傾斜角度），閉合時(shí)直接壓緊。（類(lèi)似字母"I"的垂直軌跡）

特點(diǎn) ：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，啟閉速度快，維護(hù)便捷，低振動(dòng)，密封面摩擦小，減少O-ring摩擦粉塵可能性，保證真空度，但由于閥門(mén)不提供橫向水平的密封力，不適用于超高壓差環(huán)境。

2. L-motion矩形傳輸閥

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  │ 閥板          → ▲先垂直上升再水平平移

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運(yùn)動(dòng)特征 ：閥板先垂直上升，運(yùn)送閥板至閥門(mén)光學(xué)關(guān)閉位置，再水平方向運(yùn)動(dòng)，將閥板抵緊在閥門(mén)開(kāi)口處，并持續(xù)施加載荷以使閥門(mén)完成密封。（運(yùn)動(dòng)軌跡類(lèi)似字母"L"）

特點(diǎn) ：閥板運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，水平方向能提供一定的密封力，密封性能好。減少O-ring密封面的摩擦以減少粉塵，適用于大尺寸通徑，能夠處理較大的物料或樣品，但需要多軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，啟閉時(shí)間相對(duì)較長(zhǎng)，成本和維護(hù)復(fù)雜度較高。

3. J-motion矩形傳輸閥

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  │ 閥板          ? ▲閥板沿弧形擺動(dòng)上升

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運(yùn)動(dòng)特征 ：凸輪搖臂式結(jié)構(gòu)，閥板沿弧形軌跡運(yùn)動(dòng)，通過(guò)旋轉(zhuǎn)或擺動(dòng)實(shí)現(xiàn)啟閉（類(lèi)似字母"J"的尾部弧線）。

特點(diǎn) ：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)動(dòng)軌跡優(yōu)化，占用空間小，工藝較為成熟，密封性能好，低漏率，但閥板旋轉(zhuǎn)時(shí)會(huì)與O-ring形成切向摩擦，可能造成磨損。